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申请/专利权人：苏州市富同石英科技有限公司
申请日：2016-01-21
公开（公告）日：2016-06-22
公开（公告）号：CN205335282U
专利技术分类：.专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备[2006.01]
专利摘要：本实用新型公开了一种石英舟，包括支撑腿、设置在支撑腿上的石英框架以及设置在石英框架上的上层石英柱组以及下层石英柱组，上层石英柱组包括两根水平设置的上石英柱，两根上石英柱开设有槽口相对的上石英舟槽；下层石英柱组包括两根水平设置的下石英柱，下石英柱开设有开口向上的且与上石英舟槽对应的下石英舟槽；上石英舟槽彼此平行且等距，上石英舟槽的数量为25～500个；下石英舟槽彼此平行且等距，下石英舟槽的数量与上石英舟槽的数量相同；硅片放置在下石英舟槽以及上石英舟槽内，相对于传统的100槽的石英舟，本实用新型的石英舟单次扩散工序能够完成的硅片数量增多，在不增加时间以及耗能的条件下，最多将产能提升400％，能够降低耗能。
专利权项：石英舟，其特征在于：包括支撑腿、设置在支撑腿上的石英框架以及设置在石英框架上的上层石英柱组以及下层石英柱组，上层石英柱组包括两根水平设置的上石英柱，两根上石英柱开设有槽口相对的上石英舟槽；下层石英柱组包括两根水平设置的下石英柱，下石英柱开设有开口向上的且与上石英舟槽对应的下石英舟槽；上石英舟槽彼此平行且等距，上石英舟槽的数量为25～500个；下石英舟槽彼此平行且等距，下石英舟槽的数量与上石英舟槽的数量相同。
百度查询： 苏州市富同石英科技有限公司 石英舟
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