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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本发明提供一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法，左右对称且相互拼接的两个阀门；分别位于两个阀门顶部的流量调节旋钮；分别位于两个阀门侧壁用于在阀门关闭后调节回吸的第一旋钮；分别位于两个阀门侧壁的导电PFA管；流量调节旋钮与第一旋钮上分别设有金属阀杆；流量调节旋钮上的金属阀杆、第一旋钮上的金属阀杆分别与track机台外壳之间连接有接地导线。将阀门单次打开的时间缩短，将阀门两次打开的间隔时间增加；在流量调节阀金属阀杆与机台外壳之间形成保护接地；将机台管路替换成导电PFA管，并在大量排液前，在阀门两端进行保护接地。有效改善了阀门损坏的现象，从而有效地减少了公司因阀门内漏产生的经济损失。
主权项：1.一种track机台流量阀，其特征在于，至少包括：左右对称且相互拼接的两个阀门；分别位于所述两个阀门顶部的流量调节旋钮；分别位于所述两个阀门侧壁用于在所述阀门关闭后调节回吸的第一旋钮；分别位于所述两个阀门侧壁的导电PFA管，其中一个所述导电PFA管为进液管，另一个所述导电PFA管为排液管；所述流量调节旋钮与所述第一旋钮上分别设有金属阀杆；所述流量调节旋钮上的金属阀杆、所述第一旋钮上的金属阀杆分别与所述track机台外壳之间连接有接地导线。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 一种track机台流量阀及防止其损坏的使用方法
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