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申请/专利权人：江苏壹度科技股份有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体晶盘片冷却设备技术领域，具体为一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统，包括支撑机构，支撑机构包括两个矩形框，两个矩形框左右侧壁之间的顶部均设有第一横杆，第一横杆的下方设有第二横杆，每个矩形框内部中心处设有加固杆，两个加固杆之间设有架杆，第一横杆上靠近两端的位置安装有若干主管道装置，主管道装置之间安装若干辅管道，主管道装置和辅管道上安装有若干固定装置。本实用新型通过支撑机构，用于支撑主管道装置和辅管道，并通过固定装置将主管道装置和辅管道固定在支撑机构上，方便后续冷却使用，另一方面，主管道装置和固定装置可拆卸，为后续维修或保养提供便利，有利于提高市场竞争力。
主权项：1.一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统，包括支撑机构1，其特征在于：所述支撑机构1包括两个矩形框10，两个所述矩形框10左右侧壁之间的顶部均设有第一横杆11，所述第一横杆11的下方设有第二横杆12，每个所述矩形框10内部中心处设有加固杆13，两个所述加固杆13之间设有架杆14，所述第一横杆11上靠近两端的位置安装有若干主管道装置2，所述主管道装置2包括第一条形管20，所述第一条形管20的两端安装有弯管接头21，所述弯管接头21的端部设有第二条形管22，所述主管道装置2之间安装若干辅管道4，所述主管道装置2和所述辅管道4上安装有若干固定装置9，所述固定装置9包括弧形扣90，所述弧形扣90的两侧对称开设有螺纹孔901，所述螺纹孔901内设有螺钉91，所述支撑机构1前后两侧对称安装有储水桶7，所述储水桶7上方安装有桶盖8，所述储水桶7与端部的所述主管道装置2之间安装有连接管6。
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权利要求：
百度查询： 江苏壹度科技股份有限公司 一种半导体晶盘片专用纯水PCW系统
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