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一种半导体行业专用纯水PCW系统 

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申请/专利权人:山东汉华工业设备有限公司

摘要:本实用新型公开了一种半导体行业专用纯水PCW系统,包括水箱、冷却系统和连接管,所述水箱的上表面可拆卸安装有箱盖,所述水箱的一侧设置有进水管,所述水箱的另一侧设置有出水口;本实用新型通过设置有向上突起的连接管,并且在连接管的上水端设置有过滤网,水箱中的水通过变频泵将水抽进冷却系统时,通过过滤网能够对水中的柔性物质进行过滤,避免对生产设备造成损坏,不仅降低了能耗,而且提高了生产的效率,当停止进水时,柔性物质由于重力的作用落到连接管的一端或者直接黏贴在过滤网的表面,通过将连接管拆卸下来,能够直接将柔性物质清理出来,通过打开密封板,能够直接将过滤网取出进行清理,确保了过滤网过滤的效果。

主权项:1.一种半导体行业专用纯水PCW系统,包括水箱1、冷却系统7和连接管3,所述水箱1的上表面可拆卸安装有箱盖2,所述水箱1的一侧设置有进水管,所述水箱1的另一侧设置有出水口6,所述冷却系统7的一侧设置有进水口8,其特征在于:所述出水口6的一端可拆卸安装有连接管3,所述连接管3的另一端与所述进水口8可拆卸连接,所述连接管3呈向上突起的结构,且连接管3上水端的内壁可拆卸安装有过滤网9。

全文数据:

权利要求:

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