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申请/专利权人：信越化学工业株式会社
申请日：2020-02-03
公开（公告）日：2020-08-11
公开（公告）号：CN111522196A
专利技术分类：..以框架为特征的,例如其结构或材料[2012.01]
专利摘要：本发明的目的是提供具足够的通气能力，防尘薄膜框架的加工性佳，且对光掩膜的贴附性良好的防尘薄膜框架及防尘薄膜组件。本发明提供一种防尘薄膜框架及防尘薄膜组件，该防尘薄膜框架具有设置防尘薄膜的上端面及面向光掩膜的下端面的框状防尘薄膜框架，并从上端面的外侧面往内侧面设有缺口部，该防尘薄膜组件包含有该防尘薄膜框架作为其构成要件。
专利权项：1.一种防尘薄膜框架，其为包含设有防尘薄膜的上端面及面向光掩膜的下端面的框状防尘薄膜框架，并从上端面的外侧面往内侧面设有至少一个缺口部。
百度查询： 信越化学工业株式会社 防尘薄膜框架及防尘薄膜组件
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