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申请/专利权人：浜松光子学株式会社
申请日：2019-01-17
公开（公告）日：2020-09-25
公开（公告）号：CN111712908A
专利技术分类：.在制造或处理过程中的测试或测量[2006.01]
专利摘要：本发明为测量测定对象物中的载流子寿命的载流子寿命测定方法，其具备：照射步骤，其朝向作为测定对象物的DUT10，照射测量光、及以多个频率进行强度调制所得的刺激光；输出步骤，其检测来自DUT10的反射光或透过光的强度并输出检测信号；及产生步骤，其检测相对于包含多个频率中的对应于测量对象区域的杂质浓度的频率的调制信号的检测信号的相位延迟，并基于相位延迟，产生表示DUT10中的载流子寿命的分布的图像数据。
专利权项：1.一种载流子寿命测定方法，其中，是测量测定对象物中的载流子寿命的方法，其具备：照射步骤，其朝向所述测定对象物，照射测量光、及以多个频率进行强度调制所得的刺激光；输出步骤，其检测来自所述测定对象物的反射光或透过光的强度并输出检测信号；及产生步骤，其检测相对于包含所述多个频率中的对应于测量对象区域的杂质浓度的频率的调制信号的所述检测信号的相位延迟，并基于所述相位延迟，产生表示所述测定对象物中的载流子寿命的分布的图像数据。
百度查询： 浜松光子学株式会社 载流子寿命测定方法及载流子寿命测定装置
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