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申请/专利权人：索尼半导体解决方案公司
申请日：2019-01-21
公开（公告）日：2020-10-09
公开（公告）号：CN111758165A
专利技术分类：...图像结构[2006.01]
专利摘要：本发明旨在防止尤其在如下情况下在固态摄像器件的层结构的各层之间的界面处发生剥离：在固态摄像器件上隔着支撑部设置有透光构件，且在固态摄像器件与透光构件之间形成有空腔，在这种构造中，由于空腔内的压力的增大而产生了应力。本发明包括：固态摄像器件，它的光接收侧对应于半导体基板的一个板面侧；透光构件，其设置在固态摄像器件的光接收侧且与固态摄像器件相隔预定间隔；以及支撑部，其在固态摄像器件与透光构件之间形成了空腔。固态摄像器件具有设置在半导体基板的光接收侧的层结构，其包括：第一层；与第一层材料不同的第二层；与第一层材料不同且形成在第二层内的第三层。第三层至少在沿着半导体基板的板面的平面方向上在形成有支撑部的区域中具有凹凸形状部，该凹凸形状部以凹凸形状形成第二层与第三层之间的界面。
专利权项：1.固态摄像装置，包括：固态摄像器件，其包括半导体基板，所述半导体基板的一个板面侧被定义为光接收侧；透光构件，其设置在所述固态摄像器件的所述光接收侧且在与所述固态摄像器件相隔预定间隔处；和支撑部，其设置在所述固态摄像器件的所述光接收侧，且将所述透光构件相对于所述固态摄像器件支撑着，在所述固态摄像器件与所述透光构件之间形成有空腔，其中，所述固态摄像器件具有设置在所述半导体基板的所述光接收侧的层结构，所述层结构包括第一层、第二层和第三层，所述第二层使用与所述第一层不同的材料且形成在所述第一层上，所述第三层使用与所述第一层不同的材料且形成在所述第一层上的所述第二层内，并且所述第三层至少在沿着所述半导体基板的板面的平面方向上在形成有所述支撑部的区域中具有凹凸形状部，所述凹凸形状部以凹凸形状形成所述第二层与所述第三层之间的界面。
百度查询： 索尼半导体解决方案公司 固态摄像装置和固态摄像器件
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