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申请/专利权人:中芯长电半导体(江阴)有限公司
申请日:2020-02-19
公开(公告)日:2020-12-11
公开(公告)号:CN212136439U
专利技术分类:...引线位于绝缘衬底上的[2006.01]
专利摘要:本实用新型提供一种重新布线层,该结构包括:扩散阻挡层;金属线层,位于扩散阻挡层上,其中,金属线层的下端边缘不超过扩散阻挡层,且金属线层的下端呈弧形。通过对金属线层的下端进行整形,去除金属线层的下端的尖角凸部,以使金属线层的下端呈圆角化,可有效增大相邻金属线层之间的线间距,提高WLP的集成度;另外,消除了金属线层的下端的尖角凸部,可避免重新布线层尖端放电及相邻金属线层桥接的风险,提高了重新布线层的电学性能。
专利权项:1.一种重新布线层,其特征在于,所述重新布线层至少包括:扩散阻挡层;金属线层,位于所述扩散阻挡层上,其中,所述金属线层的下端边缘不超过所述扩散阻挡层,且所述金属线层的下端呈弧形。
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