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申请/专利权人：株式会社村田制作所
申请日：2018-12-21
公开（公告）日：2021-01-08
公开（公告）号：CN112204880A
专利技术分类：.不用压电、电致伸缩或磁致伸缩材料的谐振器的结构特点[2006.01]
专利摘要：本发明提供谐振子10，具备：振动部120，具备：具有主面的基板F2、形成在基板F2的主面上的下部电极E1、形成在下部电极E1上的压电膜F3、以及形成在压电膜F3上的上部电极E2；以及保持部140，设置为包围振动部120的至少一部分。在振动部120的周围设置有开口槽，该开口槽在俯视基板F2的主面时的第一方向具有不同的宽度。在俯视基板F2的主面时，上部电极E2形成为从基板F2的外边缘隔开沿着第一方向的间隙设置，并且开口槽的宽度较大的区域的间隙的长度比开口槽的宽度较小的区域的间隙的长度大。
专利权项：1.一种谐振子，具备：振动部，具备：具有主面的基板、形成在上述基板的主面上的下部电极、形成在上述下部电极上的压电膜、以及形成在上述压电膜上的上部电极；以及保持部，被设置为包围上述振动部的至少一部分，在上述振动部的周围设置有开口槽，该开口槽在俯视上述基板的主面时的第一方向具有不同的宽度，在俯视上述基板的主面时，上述上部电极形成为从上述基板的外边缘隔开沿着上述第一方向的间隙设置，并且上述开口槽的宽度较大的区域的上述上部电极的间隙的长度比上述开口槽的宽度较小的区域的上述上部电极的间隙的长度大。
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