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申请/专利权人：新东超精密有限公司
申请日：2018-03-27
公开（公告）日：2021-09-10
公开（公告）号：CN108687722B
专利技术分类：.桌式的[2006.01]
专利摘要：提供一种能够将工件高精度地载置于所希望的位置的载置台及载置方法。所述载置台为载置矩形形状的工件的载置台2，具备对载置所述工件的所述载置台的表面10a的平面度进行调整的平面度调整部4a～4x，所述平面度调整部具备：螺栓16，配置于贯通所述载置台的贯通孔28；第一球面垫片18，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片20，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉22，配置在所述载置台的背面侧，容纳所述螺栓的螺纹部；及固定螺母24，将所述调整螺钉固定。
专利权项：1.一种载置台，载置矩形形状的工件，所述载置台的特征在于，所述载置台具备对载置所述工件的所述载置台的表面的平面度进行调整的平面度调整部，所述平面度调整部具备：螺栓，配置于贯通所述载置台的贯通孔；第一球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的表面侧且在所述贯通孔的入口配置；第二球面垫片，被所述螺栓插通，在所述载置台的背面侧且在所述贯通孔的出口配置；调整螺钉，配置在所述载置台的背面侧，在一端部具有容纳从所述贯通孔的出口突出的所述螺栓的螺纹部的容纳部，通过从所述载置台的背面旋转另一端部来调整所述载置台的表面的平面度；及固定螺母，配置在所述调整螺钉的所述另一端部，将所述调整螺钉固定。
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