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申请/专利权人：株式会社安川电机
申请日：2020-02-05
公开（公告）日：2021-10-15
公开（公告）号：CN113508456A
专利技术分类：..用于传送的，例如在不同的工作站之间[2006.01]
专利摘要：搬运系统具有搬运室，在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，该搬运室在减压气氛下搬运基板。搬运室具备：固定在搬运室内，搬运基板的多个机器人；和移动式缓冲器。移动式缓冲器保持基板，在侧壁与机器人之间沿着侧壁在水平方向上移动。机器人通过与移动式缓冲器的移动进行协作而在移动式缓冲器与处理室之间进行基板的交接。
专利权项：1.一种搬运系统，其特征在于，该搬运系统具备搬运室，在该搬运室的侧壁设置有在减压气氛下对基板进行处理的多个处理室，所述搬运室在减压气氛下搬运所述基板，所述搬运室具备：多个机器人，它们固定在所述搬运室内，对所述基板进行搬运；以及移动式缓冲器，其对所述基板进行保持，在所述侧壁和所述机器人之间沿着所述侧壁在水平方向上移动，所述机器人通过与所述移动式缓冲器的移动进行协作，在所述移动式缓冲器和所述处理室之间进行所述基板的交接。
百度查询： 株式会社安川电机 搬运系统、搬运方法以及搬运装置
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