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申请/专利权人：南京邮电大学;南京亿浦先进材料研究院有限公司
摘要：本发明揭示了一种等离子体磁过滤技术制备LAGP基固体电解质的方法，该方法包括以下步骤：S1：将沉积基底固定在化学气相反应室中的可旋转基座上；S2：将弧光放电源、磁过滤管、化学气相反应室进行抽取真空；S3：采用等离子对沉积基底的镀膜表面进行清洗，去除沉积基底镀膜表面的油污及杂质；S4：将弧光放电固体源引入磁过滤管中进行筛选；S5：关闭弧光放电、磁过滤电源，释放真空度，待恢复至常压状态后打开化学气相反应室取出样品，将所得样品翻转180°，重复如上步骤进行再次沉积，最终得到LAGP基固体电解质。该方法可以有效地降低LAGP与正极材料直接的界面电阻从而使其易于形成稳定的SEI膜。
主权项：1.一种等离子体磁过滤技术制备LAGP基固体电解质的方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：S1：将沉积基底固定在化学气相反应室中的可旋转基座上；S2：将弧光放电源、磁过滤管、化学气相反应室进行抽取真空；S3：采用等离子对沉积基底的镀膜表面进行清洗，去除沉积基底镀膜表面的油污及杂质；S4：将弧光放电固体源引入磁过滤管中进行筛选；S5：关闭弧光放电、磁过滤电源，释放真空度，待恢复至常压状态后打开化学气相反应室取出样品，将所得样品翻转180°，重复S1～S5如上步骤进行再次沉积，最终得到LAGP基固体电解质。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京邮电大学 南京亿浦先进材料研究院有限公司 一种等离子体磁过滤技术制备LAGP基固体电解质的方法
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