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申请/专利权人：广州市尤特新材料有限公司
申请日：2020-07-31
公开（公告）日：2022-02-18
公开（公告）号：CN114057471A
专利技术分类：.以氧化物为基料的[2006.01]
专利摘要：本发明提供了一种靶材制备方法和靶材，其中，靶材制备方法包括：将氧化铟基材和氧化钨材料通过球磨研磨，获取一段研磨浆料；对一段研磨浆料进行砂磨研磨，获取二段研磨浆料；对二段研磨浆料进行造粒，获取粒料；对粒料进行冷等静压，获取素坯；对素坯进行烧结，冷却后获取靶材；其中，冷等静压的压力为280Mpa至320Mpa，对素坯进行烧结的烧结温度为1460℃至1565℃。靶材采用上述的靶材制备方法制备而成，该靶材致密度高，且成分分布均匀性好，使得使用该靶材制备的导电氧化物薄膜性能得到提高。
专利权项：1.一种靶材制备方法，其特征在于，包括：将氧化铟基材和氧化钨材料通过球磨研磨，获取一段研磨浆料；对所述一段研磨浆料进行砂磨研磨，获取二段研磨浆料；对所述二段研磨浆料进行造粒，获取粒料；对所述粒料进行冷等静压，获取素坯；对所述素坯进行烧结，冷却后获取所述靶材。
百度查询： 广州市尤特新材料有限公司 靶材制备方法和靶材
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