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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
申请日：2021-08-25
公开（公告）日：2022-03-01
公开（公告）号：CN114102370A
专利技术分类：.用于磨削平面[2006.01]
专利摘要：本发明的目的在与提供一种在使用伯努利吸盘支承工件时，能够维持吸附力，并且能够防止工件的表面的干燥的工件支承装置、工件处理装置、工件输送装置、工件支承方法及工件处理方法。工件支承装置12具备：通过喷射气体而产生吸引力的伯努利吸盘14；配置为包围伯努利吸盘14，并在伯努利吸盘14的周围排出液体的液体排出部件13。
专利权项：1.一种工件支承装置，其特征在于，具备：伯努利吸盘，该伯努利吸盘通过喷射气体而产生吸引力；以及液体排出部件，该液体排出部件配置为包围所述伯努利吸盘，并在所述伯努利吸盘的周围排出液体。
百度查询： 株式会社荏原制作所 工件支承装置、工件处理装置、工件输送装置、工件支承方法及工件处理方法
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