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申请/专利权人：信越化学工业株式会社
申请日：2021-09-14
公开（公告）日：2022-04-08
公开（公告）号：CN114292010A
专利技术分类：.用气相反应法[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种多孔质玻璃堆积体的制造方法，在反应室内，使用玻璃微粒子的堆积位置互不相同的多个燃烧器，对旋转着向上方提拉的起始材料堆积玻璃微粒子，由此制造多孔质玻璃堆积体，在此制造工序中具备供给阶段，即，将已加湿的清洁空气通过设置在反应室壁面的供气口供给到反应室内。
专利权项：1.一种多孔质玻璃堆积体的制造方法，在反应室内，使用玻璃微粒子的堆积位置互不相同的多个燃烧器，对旋转着向上方提拉的起始材料堆积玻璃微粒子，由此制造所述多孔质玻璃堆积体，在此制造工序中具备供给阶段，即，将已加湿的清洁空气通过设置在所述反应室的壁面的供气口供给到所述反应室内。
百度查询： 信越化学工业株式会社 多孔质玻璃堆积体的制造方法及多孔质玻璃堆积体的制造装置
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