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申请/专利权人：太阳诱电株式会社
申请日：2020-08-31
公开（公告）日：2022-04-08
公开（公告）号：CN114303056A
专利技术分类：
专利摘要：本发明的气体判断方法使用具有场效应晶体管结构的传感器，该场效应晶体管结构包括：栅极电极；形成于栅极电极上的绝缘膜；形成于上述绝缘膜上的源极电极和漏极电极；以及形成于上述绝缘膜上且连接在上述源极电极与上述漏极电极之间的石墨烯层，该气体判断方法中，对石墨烯层供给气体，对栅极电极施加规定时间的第一电压，测量对栅极电极施加电压在第一电压与不同于第一电压的第二电压的范围内变化的扫描电压时，在源极电极与漏极电极之间流动的第一电流的变化，对栅极电极施加规定时间的第二电压，测量对栅极电极施加电压在第一电压与第二电压的范围内变化的扫描电压时，在源极电极与漏极电极之间流动的第二电流的变化，基于第一电流相对于扫描电压的变化的测量结果和第二电流相对于扫描电压的变化的测量结果，判断气体的种类或者浓度。
专利权项：1.一种气体判断装置，其特征在于：所述气体判断装置使用具有场效应晶体管结构的传感器，所述场效应晶体管结构包括：栅极电极；形成于所述栅极电极上的绝缘膜；形成于所述绝缘膜上的源极电极和漏极电极；以及形成于所述绝缘膜上且连接在所述源极电极与所述漏极电极之间的石墨烯层，所述气体判断装置包括：控制对所述栅极电极施加的电压的控制部；获取部，其获取对施加了第一电压的所述栅极电极施加电压在所述第一电压与不同于所述第一电压的第二电压的范围内变化的扫描电压时，在所述源极电极与所述漏极电极之间流动的第一电流的变化，并获取对施加了所述第二电压的所述栅极电极施加电压在所述第一电压与所述第二电压的范围内变化的扫描电压时，在所述源极电极与所述漏极电极之间流动的第二电流的变化；以及判断部，其基于所述第一电流相对于所述扫描电压的变化的测量结果和所述第二电流相对于所述扫描电压的变化的测量结果，判断吸附于所述石墨烯层的气体的种类或者浓度。
百度查询： 太阳诱电株式会社 气体判断装置、气体判断方法和气体判断系统
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