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申请/专利权人：深圳中科飞测科技股份有限公司
申请日：2020-12-11
公开（公告）日：2022-06-14
公开（公告）号：CN114624004A
专利技术分类：.光学性质测试[2006.01]
专利摘要：本申请公开了一种检测系统、检测方法以及检测设备，该检测系统应用于半导体检测设备，所述半导体检测设备中包括至少一个光学元件，该检测系统包括检测装置和处理装置，其中，所述检测装置用于获取所述至少一个光学元件对所述半导体检测设备的光路中的光线进行处理形成的光信号；所述处理装置用于基于所述至少一个光学元件对所述半导体检测设备的光路中的光线进行处理形成的光信号，确定所述至少一个光学元件的使用状态，以便于在保证所述半导体检测设备的检测精度的前提下，提高光学元件的使用率，进而提高光学元件的使用寿命。
专利权项：1.一种检测系统，其特征在于，应用于半导体检测设备，所述半导体检测设备中包括至少一个光学元件，该检测系统包括：检测装置，所述检测装置用于获取所述至少一个光学元件对所述半导体检测设备的光路中的光线进行处理形成的光信号；处理装置，所述处理装置用于基于所述至少一个光学元件对所述半导体检测设备的光路中的光线进行处理形成的光信号，确定所述至少一个光学元件的使用状态。
百度查询： 深圳中科飞测科技股份有限公司 检测系统、检测方法及检测设备
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