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申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日：2022-03-31
公开（公告）日：2022-07-22
公开（公告）号：CN114772076A
专利技术分类：..在真空或超大气压下，或在特殊气氛中，如惰性气体的[2006.01]
专利摘要：本公开提供了一种充气货架、充气系统及充气方法，充气货架包括：支撑座，用于支撑物料盒；供气通道，至少部分设置在支撑座内，供气通道与物料盒连通，用于向物料盒内输入气体；排气通道，至少部分设置在支撑座内，排气通道与物料盒连通，物料盒内的气体通过排气通道排出；湿度检测部件，设置在排气通道内，用于检测物料盒内的气体流经排气通道时的湿度。本公开解决了现有技术中物料在暂存过程中容易浪费氮气的问题。
专利权项：1.一种充气货架，其特征在于，所述充气货架包括：支撑座10，用于支撑物料盒100；供气通道11，至少部分设置在所述支撑座10内，所述供气通道11与所述物料盒100连通，用于向所述物料盒100内输入气体；排气通道12，至少部分设置在所述支撑座10内，所述排气通道12与所述物料盒100连通，所述物料盒100内的气体通过所述排气通道12排出；湿度检测部件13，设置在所述排气通道12内，用于检测所述物料盒100内的气体流经所述排气通道12时的湿度。
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 充气货架、充气系统及充气方法
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