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申请/专利权人：株式会社堀场制作所;株式会社堀场STEC
申请日：2017-09-22
公开（公告）日：2022-07-26
公开（公告）号：CN109716481B
专利技术分类：..导入或提取待分析试样的装置，如真空锁；电子光学或离子光学部件的外部调节装置[2006.01]
专利摘要：本发明在组合加热炉和在真空气氛下对元素进行定量分析的质谱仪的元素分析装置中，对试样气体所含的Ar元素进行高精度的定量分析。所述元素分析装置包括：加热炉10，边导入载气边加热放入有试样的石墨坩埚11，使所述试样汽化而生成试样气体；四极质谱仪40，在真空气氛下对从所述加热炉导出且包含载气和试样气体的混合气体中的所述试样气体所含的Ar元素进行定量分析；第一调压器111，控制导入所述加热炉10的载气的压力；以及第二调压器126，控制从所述加热炉10导出的混合气体的压力。
专利权项：1.一种元素分析装置，其特征在于，所述元素分析装置包括：加热炉，边导入载气边加热放入有试样的坩埚，使所述试样的至少一部分汽化而生成试样气体；四极质谱仪，在真空气氛下提取混合气体中的所述试样气体所含的元素并进行定量分析，所述混合气体从所述加热炉导出且包含所述载气和所述试样气体；第一调压器，控制导入所述加热炉的所述载气的压力并进行减压；第二调压器，控制导入所述四极质谱仪的所述混合气体的压力并进行减压；以及流量调节阀，通过限制由所述第二调压器减压后的混合气体的流量，从而进一步对所述混合气体的压力进行减压，利用所述第一调压器、所述第二调压器和所述流量调节阀，将导入所述四极质谱仪的混合气体的压力阶段性地减压到真空气氛。
百度查询： 株式会社堀场制作所 株式会社堀场STEC 元素分析装置和元素分析方法
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