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烘烤设备及烘烤方法专利

发布时间:2022-08-18 15:20:07 来源:龙图腾网 导航: 龙图腾网> 最新专利技术> 烘烤设备及烘烤方法

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申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司

申请日:2017-06-15

公开(公告)日:2022-08-16

公开(公告)号:CN109143799B

专利技术分类:..去除影像之后的处理,例如,烘干[2006.01]

专利摘要:本发明实施例提供一种烘烤设备及烘烤方法。烘烤设备包括一加热板。烘烤设备还包括一第一导引衬套。第一导引衬套围绕加热板设置。烘烤设备还包括一第二导引衬套。第二导引衬套位于加热板与第一导引衬套之间。一气流流道定义于第一导引衬套与第二导引衬套之间。气流流道至少部分沿朝向加热板的一延伸方向延伸。

专利权项:1.一种烘烤设备,包括:一加热板;一第一导引衬套,围绕该加热板设置;一第二导引衬套,位于该加热板与该第一导引衬套之间,其中一气流流道定义于该第一导引衬套与该第二导引衬套之间,该气流流道至少部分沿朝向该加热板的一延伸方向延伸,其中该延伸方向平行该加热板的一轴线;以及一盖体,相对该加热板设置,并位于该第一导引衬套与该第二导引衬套上方,其中一排气口定义于该盖体;其中,该气流流道包括:一气流入口;以及一气流出口,在该加热板的径向方向上,相较该气流入口靠近该加热板;其中,该气流入口相对该加热板的高度大于该气流出口相对该加热板的高度。

百度查询: 台湾积体电路制造股份有限公司 烘烤设备及烘烤方法

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