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申请/专利权人：株式会社冈本工作机械制作所
申请日：2022-02-10
公开（公告）日：2022-08-30
公开（公告）号：CN114952459A
专利技术分类：.使用转动工作台[2006.01]
专利摘要：本发明提供磨削装置及磨削方法。所述磨削方法通过磨具对基板进行磨削加工，在所述基板埋入有由与所述基板的主要构成材料不同的材料构成的异种材料部，所述磨削方法包括以下步骤：朝向转动的所述基板，使所述磨具边转动边下降，通过所述磨具对所述基板进行磨削加工；在所述磨削加工中，通过图像传感器对所述基板的加工面连续地进行拍摄；根据由所述图像传感器拍摄到的图像的数据，分析所述异种材料部的露出量；以及根据分析出的所述露出量，从所述异种材料部开始露出的状态开始到所述异种材料部的所述露出量达到规定的设定值的阶段为止，都持续执行所述磨削加工。
专利权项：1.一种磨削方法，通过磨具对基板进行磨削加工，所述磨削方法的特征在于，在所述基板埋入有由与所述基板的主要构成材料不同的材料构成的异种材料部，所述磨削方法包括以下步骤：朝向转动的所述基板，使所述磨具边转动边下降，通过所述磨具对所述基板进行磨削加工；在所述磨削加工中，通过图像传感器对所述基板的加工面连续地进行拍摄；根据由所述图像传感器拍摄到的图像的数据，分析所述异种材料部的露出量；以及根据分析出的所述露出量，从所述异种材料部开始露出的状态开始到所述异种材料部的所述露出量达到规定的设定值的阶段为止，都持续执行所述磨削加工。
百度查询： 株式会社冈本工作机械制作所 磨削方法及磨削装置
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