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申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日：2021-07-07
公开（公告）日：2023-01-13
公开（公告）号：CN115597510A
专利技术分类：.用于计量相隔的物体或孔的间距或间隙（G01B11/26优先；测距仪本身入G01C3/00）[2006.01]
专利摘要：本发明涉及一种量测装置、量测补偿系统、量测方法及量测补偿方法，量测装置包括治具晶圆，治具晶圆包括：晶圆；测距传感器，设置于晶圆的正面，用于在治具晶圆置于反应腔室的晶圆吸盘上后量测治具晶圆与位于反应腔室顶部的上电极之间的距离；水平传感器，设置于晶圆的正面，水平传感器用于在治具晶圆置于晶圆吸盘上后量测晶圆吸盘的水平状况；数据传送装置，与测距传感器及水平传感器相连接，用于传送测距传感器量测的数据及水平传感器量测的数据。本申请中的量测装置避免了人工测量产生的误差，准确性较高；无需打开反应腔室即可实时地获取晶圆吸盘的水平状况，能够提升反应腔室工作的安全性和可靠性。
专利权项：1.一种量测装置，其特征在于，所述量测装置包括治具晶圆，所述治具晶圆包括：晶圆；测距传感器，设置于所述晶圆的正面，用于在所述治具晶圆置于反应腔室的晶圆吸盘上后量测所述治具晶圆与位于所述反应腔室顶部的上电极之间的距离；水平传感器，设置于所述晶圆的正面，所述水平传感器用于在所述治具晶圆置于所述晶圆吸盘上后量测所述晶圆吸盘的水平状况；数据传送装置，与所述测距传感器及所述水平传感器相连接，用于传送所述测距传感器量测的数据及所述水平传感器量测的数据。
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 量测装置、量测补偿系统、量测方法及量测补偿方法
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