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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
申请日：2022-07-22
公开（公告）日：2023-02-10
公开（公告）号：CN115701368A
专利技术分类：..激光束的成形，例如，利用掩膜或多次聚焦[2014.01]
专利摘要：本发明提供一种光照射装置以及光照射方法，能够抑制因照射光而引起的检测精度的降低。光照射装置具备：载物台，至少一部分由透明材料构成；以及至少一个光照射部，用于向载物台的上表面照射光，在载物台上设有用于使光透过的透光部和用于使光散射的至少一个散射部，光照射装置还具备：检测部，用于检测透过了透光部的光和在散射部被散射的光中的至少一方；以及确定部，基于检测的光的光量来确定透光部和散射部中的至少一方的位置。
专利权项：1.一种光照射装置，其中，具备：载物台，至少一部分由透明材料构成；以及至少一个光照射部，用于向所述载物台的上表面照射光，在所述载物台上设有用于使所述光透过的透光部和用于使所述光散射的至少一个散射部，所述光照射装置还具备：检测部，用于检测透过了所述透光部的所述光和在所述散射部被散射的所述光中的至少一方；以及确定部，基于检测的所述光的光量来确定所述透光部和所述散射部中的至少一方的位置。
百度查询： 株式会社斯库林集团 光照射装置和光照射方法
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