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申请/专利权人：梭莱先进镀膜工业公司
申请日：2021-07-14
公开（公告）日：2023-03-21
公开（公告）号：CN115836039A
专利技术分类：.以氧化物为基料的[2006.01]
专利摘要：溅射靶包括具有至少600mm长度的至少一个单片。所述溅射靶包含背衬结构，该背衬结构设置有用于溅射的靶材料。靶材料的至少40质量％包括所谓的靶挥发性材料，所述靶挥发性材料在700hPa至1300hPa的压力下显示出升华温度，或低于其熔点的分解温度，或彼此接近的熔化温度和绝对沸腾温度。所述溅射靶的靶材料密度是靶材料理论密度的至少95％。该溅射靶包含介于背衬结构和靶材料之间的厚度为0至500μm的结合层。
专利权项：1.一种溅射靶11、12、201、404、402、800，其包含长度为至少600mm的至少一个单片，例如800mm或更大，所述溅射靶包含背衬结构，该背衬结构设置有用于溅射的靶材料304、802，其中该靶材料304、802的至少40质量％包含靶挥发性材料，例如该靶材料的至少50质量％包含靶挥发性材料，其中所述靶挥发性材料在700hPa至1300hPa的压力下显示：-升华温度，或-熔化温度和绝对沸腾或分解温度，所述靶挥发性材料的绝对沸腾和或分解温度比其熔化温度高出不到30％，或低于其熔化温度，所述靶材料的总体靶材料密度是其理论密度的至少95％、或至少98％、或至少99％，其中所述溅射靶包含介于所述背衬结构和所述靶材料之间的厚度为0μm至500μm的结合层。
百度查询： 梭莱先进镀膜工业公司 致密靶
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