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一种渐变LQB组分的Micro LED外延结构及制作方法 

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申请/专利权人:厦门大学

摘要:本发明公开了一种渐变LQB组分的MicroLED外延结构,包括InGaNGaN多量子阱结构,所述多量子阱结构p型侧的最后一个量子阱势垒层由渐变组分的n型InxGa1‑xN层和p型GaN层组成,由n型侧向p型侧方向所述n型InxGa1‑xN层的In组分x由15%~5%渐变至0%,p型GaN层上设有电子阻挡层。采用渐变n型InxGa1‑xN和p型GaN结构作为MicroLED的LQB层能够有效限制载流子,使得载流子更加匹配,在阱内复合效率更高;能够提高MicroLED芯片在高电流密度注入下整体的效率与发光水平,缓解蓝光MicroLED效率下降的问题。

主权项:1.一种渐变LQB组分的MicroLED外延结构,其特征在于:包括InGaNGaN多量子阱结构,所述多量子阱结构具有n型侧和p型侧,其中p型侧的最后一个量子阱势垒层由渐变组分的n型InxGa1-xN层和p型GaN层组成,由n型侧向p型侧方向所述n型InxGa1-xN层的In组分x由15%~5%渐变至0%,所述p型GaN层上设有电子阻挡层。

全文数据:

权利要求:

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