龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请日：2022-09-23
公开（公告）日：2023-09-05
公开（公告）号：CN115369480B
专利技术分类：.控制或调节（一般的控制或调节入G05）[2006.01]
专利摘要：本发明提供一种1806炉晶棒拉晶方法，属于单晶炉提拉法生长单晶技术领域，根据实际拉速曲线设置预定拉速上限曲线及预定拉速下限曲线进行晶棒拉制，以通过缩小拉速波动的幅度消除因分凝效应导致硅杂质浓度的升高，并且使得单晶生长界面平坦，没有杂质析出也没有产生杂质条纹。
专利权项：1.一种晶棒拉晶方法，其特征在于，根据实际拉速曲线设置预定拉速上限曲线及预定拉速下限曲线进行晶棒拉制，以通过缩小拉速波动的幅度降低晶棒出现杂质条纹的概率；具体步骤如下：步骤一：根据手动拉制晶棒的实际拉速曲线设置实际拉速上限曲线、实际拉速下限曲线；步骤二：根据实际拉速曲线及实际拉速上限曲线、实际拉速下限曲线进行晶棒拉制；步骤三：晶棒拉制结束后，根据实际拉速曲线的波动量调整晶棒的实际拉速上限曲线及实际拉速下限曲线，得到预定拉速上限曲线、及预定拉速下限曲线；步骤四：根据实际拉速曲线、预定拉速上限曲线及预定拉速下限曲线进行晶棒拉制，并手动干预调整温度，得到预定温度曲线，然后根据实际拉速曲线、预定拉速上限曲线、预定拉速下限曲线及预定温度曲线进行晶棒拉制。
百度查询： 宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司 晶棒拉晶方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号