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一种大腔体模块PIND检测设备 

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申请/专利权人:西安环宇芯微电子有限公司

摘要:本发明公开了一种大腔体模块PIND检测设备,其特征在于:包括检测仪本体,传感器,呈L形的安装板,在该安装板前侧壁靠近顶部处设有两个弧形开口,且在该弧形开口内分别设有一个弧形块,所述传感器则固定安装在两个弧形块上等结构。本发明通过安装板、固定管、支撑杆、环形板、摆动板、放置板等之间的相互配合,可实现电机带动放置板左右运动和上下运动,达到震动模块的目的,可有效的提高其震动效率。

主权项:1.一种大腔体模块PIND检测设备,其特征在于:包括检测仪本体(29),传感器(27),呈L形的安装板(1),在该安装板(1)前侧壁靠近顶部处设有两个弧形开口(25),且在该弧形开口(25)内分别设有一个弧形块(24),所述传感器(27)则固定安装在两个弧形块(24)上;在安装板(1)前壁靠近顶部处设置有顶板(28),所述检测仪本体(29)则安装在该顶板(28)顶部,所述检测仪本体(29)上插接有两个连接线(30),两个所述连接线(30)分别与相邻近的传感器(27)固定连接;所述安装板(1)前端设置有固定管(2),在该固定管(2)内套设有支撑杆(3),该支撑杆(3)一端延伸至固定管(2)外并固定连接有横板(4),其另一端延伸至固定管(2)外并固定连接有环形板(6);在安装板(1)上还设置有Y型动力输出结构、多连杆传动结构及调节机构;所述环形板(6)分别与Y型动力输出结构和调节机构(9)相连接,而该调节机构(9)则通过多连杆传动结构与横板(4)相连接;所述Y型动力输出结构包括电机(18),与电机(18)转轴相连接的第二伞形齿轮(19),与第二伞形齿轮(19)相啮合的第一伞形齿轮(17),与第一伞形齿轮(17)相啮合的第三伞形齿轮(26),设置在环形板(6)内部的传动板(7),在传动板(7)后侧壁且靠近环形板(6)底部位置处设有传动杆(8),该传动杆(8)后端穿过安装板(1)并与第一伞形齿轮(17)相连接;在安装板(1)后侧壁固定连接有两个定位板(20),在所述的两个定位板(20)之间通过轴承活动连接有往复丝杆(21),该往复丝杆(21)底端穿过轴承内圈并与第三伞形齿轮(26)相连接;所述往复丝杆(21)侧壁上安装有升降板(22),该升降板(22)上活动连接有两个拉杆(23),每个拉杆(23)的另一端则与对应的弧形块(24)活动连接;所述多连杆传动结构包括与调节机构(9)活动连接的连杆(10),与该连杆(10)后侧壁活动连接的摆动板(11),设置在摆动板(11)后侧壁且靠近中央位置处的固定块(12),设置在摆动板(11)的前侧壁靠近顶部处且活动连接的斜杆(13),与该斜杆(13)后侧壁活动连接的推拉板(14),以及与该推拉板(14)右侧壁固定连接的放置板(15);所述横板(4)顶部开设有U形槽(5),该放置板(15)位于该U形槽(5)内,所述放置板(15)顶部设置有固定机构(16);所述调节机构(9)包括竖板(91),所述竖板(91)前壁开设有矩形开口(92),所述矩形开口(92)内腔顶部和底部之间通过轴承活动连接有螺纹杆(94),所述螺纹杆(94)侧壁上个安装有矩形块(93),所述矩形块(93)前侧壁与连杆(10)活动连接,所述螺纹杆(94)底端穿过轴承内圈并延伸至竖板(91)下方固定连接有第一转动板;所述固定机构(16)包括L形板(161),所述L形板(161)底部与放置板(15)固定连接,所述L形板(161)顶部开设有第一螺纹孔(162),所述第一螺纹孔(162)内安装有丝杆(163),所述丝杆(163)底端穿过第一螺纹孔(162)并延伸至L形板(161)内活动连接有压板(164),所述丝杆(163)顶部穿过第一螺纹孔(162)并延伸至L形板(161)上方固定连接有第二转动板。

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