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申请/专利权人：FEI 公司
摘要：本发明公开了用于在样本制备工作流程中操作组合激光和宽离子束BIB抛光器的系统和方法。根据本发明的用于操作组合激光和宽离子束BIB抛光器的示例性方法包括：将样本定位在该组合BIB和激光样本制备系统的该内部体积内，致使该组合BIB和激光样本制备系统的激光源部件朝向该样本发射光束，以及致使该组合BIB和激光样本制备系统的BIB源部件朝向该样本发射宽离子束。该光束和该宽离子束各自被配置为致使该样本的该光束和该宽离子束入射在的第一部分和第二部分分别被移除。
主权项：1.一种具有改进抛光吞吐量的组合宽离子束BIB和激光样本制备系统，所述组合样本制备系统包括：壳体，所述壳体限定内部体积；样本台，所述样本台定位在所述内部体积内，其中所述样本台被配置为在由样本保持器保持的样本的抛光期间保持所述样本保持器；激光源，所述激光源被配置为在使用时朝向所述样本发射光束，其中所述光束致使所述样本的所述光束入射在的第一部分被移除；和BIB源，所述BIB源被配置为在使用时朝向所述样本发射宽离子束，其中所述宽离子束致使所述样本的所述宽离子束入射在的第二部分被移除以露出感兴趣区域。
全文数据：
权利要求：
百度查询： FEI 公司 用于更有效地处理多个样本的组合激光和宽离子束（BIB）系统
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