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申请/专利权人：株式会社荏原制作所
申请日：2022-03-31
公开（公告）日：2023-12-01
公开（公告）号：CN117157434A
专利技术分类：.镀槽；镀槽的安装[2006.01]
专利摘要：镀敷装置具备：镀敷槽，其用于保持镀敷液；阳极，其配置于上述镀敷槽内，并具有多个贯通孔；基板保持架，其以与上述阳极相向的方式保持基板；隔膜，其紧贴上述阳极的靠上述基板侧的第1面而配置；以及背面板，其是同上述阳极的与上述第1面相反一侧的第2面相向并以规定间隔相对于上述第2面分离而配置的背面板，且对从上述阳极产生并积蓄在上述第2面上的气泡的量进行调节。
专利权项：1.一种镀敷装置，其特征在于，具备：镀敷槽，其用于保持镀敷液；阳极，其配置于所述镀敷槽内，并具有多个贯通孔；基板保持架，其以与所述阳极相向的方式保持基板；隔膜，其紧贴所述阳极的靠所述基板侧的第1面而配置；以及背面板，其是同所述阳极的与所述第1面相反一侧的第2面相向并以规定间隔相对于所述第2面分离而配置的背面板，且对从所述阳极产生并积蓄在所述第2面上的气泡的量进行调节。
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