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申请/专利权人：哈尔滨工业大学
摘要：本发明一种半球谐振子最后工序干磨削降低表面粗糙度的工艺方法，涉及超精密加工技术领域，为解决现有磨削加工方法产生的表面损伤和亚表面损伤，限制了半球谐振子加工精度的进一步提升的问题。本发明采用陶瓷基CBN砂轮，构建砂轮的加工轨迹，并进行工件和砂轮的对刀，确定砂轮在工件坐标系中的相对位置，采用湿磨削加工工艺按加工轨迹进行磨削加工，磨削至接近预期尺寸，关闭磨削液泵，加工区域不添加任何磨削液，按加工轨迹进行精磨削，至完成超精密磨削。本发明在最后工序采用干磨削的加工方式将半球谐振子的材料去除方式从脆性去除转为塑性去除，使谐振子表面的脆性破碎明显减小，亚表面损伤显著降低，大幅度提高元件表面加工质量。
主权项：1.一种半球谐振子最后工序干磨削降低表面粗糙度的工艺方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：将半球谐振子工件和陶瓷基CBN砂轮进行装卡，开启磨削加工机床，连接磨削加工机床运动系统，将各运动轴回零；步骤二：通过CCD相机和放大镜测量测量工件的尺寸参数，在软件中绘制工件的二维轮廓模型，根据二维轮廓模型构建砂轮的加工轨迹；步骤三：按照加工轨迹编写数控加工程序；步骤四：根据工件轮廓上的特征点，借助CCD相机，进行工件和砂轮的对刀，确定砂轮在工件坐标系中的相对位置；步骤五：根据加工轨迹的起始点选取工件加工的起始位置，开启磨削液泵，使磨削液喷向加工区域；步骤六：通过机床运动系统分别控制开启砂轮主轴与工件主轴；步骤七：运行数控加工程序，球头砂轮从加工轨迹起始点出发按加工轨迹进行磨削，磨削至接近预期尺寸；步骤八：球头砂轮返回起始点位置，关闭磨削液泵，加工区域不添加任何磨削液，按加工轨迹进行精磨削；步骤九：所有磨削阶段加工结束后，球头砂轮返回起始点位置后，停止砂轮主轴与工件主轴的运转，操作机床，使球头砂轮远离工件，完成超精密磨削。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨工业大学 一种半球谐振子最后工序干磨削降低表面粗糙度的工艺方法
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