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摘要：一种LPP‑EUV光源液滴靶发生装置由储液器、过滤器、喷嘴、温度、气压和波形控制装置、压电陶瓷驱动元件组成，储液器内的靶材经过加热装置熔化后，熔融液体在压力作用下从喷嘴流出时呈射流状态，通过压电陶瓷驱动元件对喷嘴内的液体进行扰动，射流在周期性扰动下将断裂成一系列液滴，液滴的大小、间距和频率通过气压、喷嘴大小和压电控制波形进行控制。该装置易于安装，集成度高，适用于LPP‑EUV光刻光源中液滴靶的产生。
主权项：1.一种LPP-EUV光源液滴靶发生装置，其特征在于，包括：储液器1、过滤器2、喷嘴3、压电驱动元件4、加热套5、加热控制装置6、气压控制装置7和波形控制装置8；所述的储液器1的顶部设有可打开的顶盖，顶盖设有气路口，该气路口与所述的气压控制装置7连接，所述的储液器1的下端经所述的过滤器2后与所述的喷嘴3连接；所述的压电驱动元件4附于所述的喷嘴3的一侧或环形包围喷嘴，所述的压电驱动元件4与所述的波形控制器8连接；所述的储液器1、过滤器3、喷嘴3和压电陶瓷元件4位于所述的加热套5之中。
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百度查询： 中国科学院上海光学精密机械研究所 LPP-EUV光源液滴靶发生装置
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