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摘要：本申请实施例提供一种等离子体发生装置的线圈和等离子体发生装置，该线圈包括至少一个由导线卷绕而成的螺旋部，对于所述线圈的至少一个所述螺旋部，所述导线的投影面积Sa与所述螺旋部的外缘所包围的区域的投影面积S的比值为0.07～0.5。本申请的线圈能够改善该线圈导入的电磁场所产生的等离子体的均匀性。
主权项：1.一种等离子体发生装置的线圈，所述线圈包括至少一个由导线卷绕而成的螺旋部，其特征在于，对于所述线圈的至少一个所述螺旋部，所述导线的投影面积与所述螺旋部的外缘所包围的区域的投影面积的比值为0.07～0.5。
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百度查询： 株式会社新柯隆 等离子体发生装置的线圈和等离子体发生装置
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