龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：安徽光智科技有限公司
摘要：本发明涉及探测器制备领域，具体是一种正胶中金线的蚀刻方法和像素型CZT探测器的制备方法。本发明提供的蚀刻方法包括以下步骤：用蚀刻溶液蚀刻一工件，所述工件包括基板、覆盖在所述基板上的金膜和形成在所述金膜上的图形化结构光刻胶层，所述金膜中未被光刻胶层掩盖的部分被所述蚀刻溶液蚀刻；所述蚀刻溶液为溴的乙二醇溶液。本发明提供的蚀刻方法，将蚀刻溶剂从甲醇改为乙二醇，快速有效地去除了电极间的金线，避免了金电极的过度腐蚀现象，而且得到了完整的金电极，保持了像素的完整性，为像素型探测器的制备奠定了基础。本发明提供的蚀刻方法可单人操作，使用简单，同时可减少操作者吸入乙二醇蒸汽的风险，保护操作人员安全。
主权项：1.一种正胶中金线的蚀刻方法，其特征在于，包括以下步骤：用蚀刻溶液蚀刻一工件，所述工件包括基板、覆盖在所述基板上的金膜和形成在所述金膜上的图形化结构光刻胶层，所述金膜中未被光刻胶层掩盖的部分被所述蚀刻溶液蚀刻；所述蚀刻溶液为溴的乙二醇溶液。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽光智科技有限公司 一种正胶中金线的蚀刻方法和像素型CZT探测器的制备方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号