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申请/专利权人：阜阳欣奕华材料科技有限公司
摘要：本发明提供一种I‑line封装负胶用树脂及其制备方法和应用，本发明的I‑line封装负胶用树脂可以解决365nm光照透过率过高，导致图形形貌较差的问题，同时可解决厚胶开裂及显影膨胀导致分辨率降低的问题，并且树脂组合物粘附性能好，形成的光刻图形抗电镀液性能较好，将其应用于光致抗蚀剂树脂组合物以实现图形形貌优良的光致抗蚀剂开发。
主权项：1.一种I-line封装负胶用树脂，其特征在于，所述I-line封装负胶用树脂具有如下所示结构： 其中R1、R2、R3和R7独立为H原子、卤素原子、1-6个碳原子的烷基链或烷氧基链；R4为1-6个碳原子的烷基链或烷氧基链；n为0、1、2、3或者4。R5为如下基团中的任意一种： R6为如下结构中的任意一种： R8独立为H原子、1-8个碳原子的烷基链或烷氧基链；m为0、1或者2；x、y、z分别代表不同种类单体在聚合物当中的实际比例，0≤x＜1，0≤y＜1，0≤z＜1，且x+y+z＝1。
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百度查询： 阜阳欣奕华材料科技有限公司 一种I-line封装负胶用树脂及其制备方法和应用
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