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申请/专利权人：朗姆研究公司
申请日：2015-08-24
公开（公告）日：2024-04-09
公开（公告）号：CN110474621B
专利技术分类：..应用其他类目未包括的半导体作为有源元件的[2006.01]
专利摘要：本发明涉及状态期间的子脉冲，描述了一种用于在状态期间实现子脉冲的方法。所述方法包括：从时钟源接收时钟信号，所述时钟信号具有两个状态；并且从所述时钟信号产生脉冲信号。所述脉冲信号在所述状态之一内具有子状态。所述子状态以大于所述状态的频率的频率彼此相对交替。所述方法包括提供所述脉冲信号以控制由射频发生器产生的射频RF信号的功率。所述功率被控制成与所述脉冲信号同步。
专利权项：1.一种控制器，其包括：处理器，所述处理器被配置为产生脉冲信号，所述脉冲信号在第一状态内具有子状态并且在第二状态内具有子状态，所述第一状态的子状态以大于所述第一状态和第二状态的频率的频率彼此相对交替，所述第二状态的子状态以大于所述第一状态和第二状态的频率的频率彼此相对交替，其中，所述处理器被配置为提供所述脉冲信号以控制由射频发生器产生的射频信号的功率，其中，所述射频信号的功率被控制成与所述脉冲信号同步以具有所述第一状态的子状态和所述第二状态的子状态；其中，所述第一状态的子状态包括第一子状态和第二子状态，其中，所述射频信号的功率具有多个功率水平，其中，在所述第一子状态期间，所述射频信号具有所述功率水平的第一功率水平，在所述第二子状态期间，所述射频信号具有所述功率水平的第二功率水平，其中，所述第一子状态和所述第二子状态在所述第一状态期间重复多次，其中，所述功率水平的第一功率水平不同于所述功率水平的第二功率水平；以及存储设备，所述存储设备耦合至所述处理器。
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