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申请/专利权人：株式会社钟化

申请日：2020-07-29

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN114207843B

专利技术分类：..电极[2006.01]

专利摘要：本发明提供可以降低成本的太阳能电池单元的制造方法。一种太阳能电池单元的制造方法，包括：在基板11的背面侧的导电型半导体层25、35上形成一系列的透明电极层材料膜的工序；在透明电极层材料膜上形成金属电极层29、39的工序；形成除第一非绝缘区域以外整体覆盖金属电极层29的绝缘层41和除第二非绝缘区域以外整体覆盖金属电极层39的绝缘层42的工序；以及使用将绝缘层41、42作为掩模的蚀刻法，形成图案化的透明电极层28、38，并残留绝缘层41、42的工序；在绝缘层形成工序中，在绝缘层41中形成在沿第一方向延伸的第一直线上配置的第一非绝缘区域，在绝缘层42中形成在沿第一方向延伸的与第一直线不同的第二直线上配置的第二非绝缘区域。

专利权项：1.一种太阳能电池单元的制造方法，是具备半导体基板、依次层叠于所述半导体基板的一个主面侧的一部分的第一导电型半导体层、第一透明电极层和第一金属电极层、以及依次层叠于所述半导体基板的所述一个主面侧的另一部分的第二导电型半导体层、第二透明电极层和第二金属电极层的背接触型太阳能电池单元的制造方法，包括如下工序：透明电极层材料膜形成工序，在所述半导体基板的所述一个主面侧的所述第一导电型半导体层和所述第二导电型半导体层上形成一系列的透明电极层的材料膜；金属电极层形成工序，在所述透明电极层的材料膜上形成相互隔开的所述第一金属电极层和所述第二金属电极层；绝缘层形成工序，形成相互隔开的第一绝缘层和第二绝缘层，所述第一绝缘层除第一非绝缘区域以外整体覆盖所述第一金属电极层的主面和侧面，所述第二绝缘层除第二非绝缘区域以外整体覆盖所述第二金属电极层的主面和侧面；以及透明电极层形成工序，通过使用将所述第一绝缘层和所述第二绝缘层作为掩模的蚀刻法去除所述透明电极层的材料膜的露出部分，形成图案化的所述第一透明电极层和所述第二透明电极层，不去除而残留所述第一绝缘层和所述第二绝缘层；在所述绝缘层形成工序中，在所述第一绝缘层中形成所述第一非绝缘区域，所述第一非绝缘区域使所述第一金属电极层露出，并且配置在沿所述半导体基板的所述一个主面的第一方向延伸的第一直线上，在所述第二绝缘层中形成所述第二非绝缘区域，所述第二非绝缘区域使所述第二金属电极层露出，并且配置在沿所述第一方向延伸的与所述第一直线不同的第二直线上。

百度查询： 株式会社钟化 太阳能电池单元的制造方法、太阳能电池单元、太阳能电池装置和太阳能电池模块