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申请/专利权人：家登精密工业股份有限公司
摘要：本发明公开一种光罩装载系统及光罩载入方法和光罩卸除方法，包含：一第一接口；一第二接口；一第一升降设备，配置成使该光罩传送盒能于一顶部位置和一底部位置之间升降，当该光罩传送盒抵达该底部位置时，该光罩传送盒的一容置空间被开启而暴露于该装载环境；一第二升降设备，配置成使该光罩储存盒能于一顶部位置和一底部位置之间升降，当该光罩储存盒抵达该底部位置时，该光罩储存盒的一容置空间被开启而暴露于该装载环境；及一光罩夹持机构，配置成使一光罩或承载有该光罩的一基座能够在该光罩传送盒被开启所暴露的容置空间与该光罩储存盒被开启所暴露的容置空间之间转移。
主权项：1.一种光罩装载系统，其特征在于，包含：一第一接口202，配置成允许一光罩传送盒10在一外部环境和一装载环境之间转移；一第二接口204，配置成允许一光罩储存盒100在该装载环境和一储藏环境之间转移；一第一升降设备A，配置成与该第一接口配合并承载该光罩传送盒，且于该装载环境中升降移动，使该光罩传送盒能于一顶部位置和一底部位置之间升降，其中，当该光罩传送盒抵达该底部位置时，该光罩传送盒的一容置空间被开启而暴露于该装载环境；一第二升降设备B，配置成与该第二接口配合并承载该光罩储存盒，且于该装载环境中升降移动，使该光罩储存盒能于一顶部位置和一底部位置之间升降，其中，当该光罩储存盒抵达该底部位置时，该光罩储存盒的一容置空间被开启而暴露于该装载环境；及一光罩夹持机构1900，配置成位于该装载环境中操作，使一光罩或承载有该光罩的一基座能够在该光罩传送盒被开启所暴露的容置空间与该光罩储存盒被开启所暴露的容置空间之间转移。
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百度查询： 家登精密工业股份有限公司 光罩装载系统及光罩载入方法和光罩卸除方法
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