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申请/专利权人：中国科学院上海硅酸盐研究所
摘要：本发明涉及SiBCN界面层、SiBCN界面层保护SiCfSiC陶瓷基复合材料及其制备方法。其中，SiBCN界面层的制备方法包括：1将纤维预制体用夹具固定并放置于炉内反应室中，在真空状态下升温至沉积温度600～850οC并保温0.5h～2h；2三氯甲基硅烷以CH3Cl3Si为硅源和碳源，BCl3为硼源，NH3为氮源，H2为稀释气体和载气，Ar为稀释气体，控制NH3和BCl3分别通过不同的输送管道输送至反应室内，在0.01～3KPa，600～850℃下沉积2h～20h，在纤维预制体中纤维表面制备得到SiBCN界面层；3将沉积有SiBCN界面层的纤维预制体经稳定化处理，得到所述高性能SiBCN界面层。
主权项：1.一种高性能SiBCN界面层的制备方法，其特征在于，包括：1将纤维预制体用夹具固定并放置于炉内反应室中，在真空状态下升温至沉积温度600～850οC并保温0.5h～2h；2三氯甲基硅烷以CH3Cl3Si为硅源和碳源，BCl3为硼源，NH3为氮源，H2为稀释气体和载气，Ar为稀释气体，控制NH3和BCl3分别通过不同的输送管道输送至反应室内，在0.01～3KPa，600～850℃下沉积2h～20h，在纤维预制体中纤维表面制备得到SiBCN界面层；3将沉积有SiBCN界面层的纤维预制体经稳定化处理，得到所述高性能SiBCN界面层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海硅酸盐研究所 SiBCN界面层、SiBCN界面层保护SiCf/SiC陶瓷基复合材料及其制备方法
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