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申请/专利权人：上海芯无双仿真科技有限公司
摘要：本发明涉及面对FAB的EDA软件集成平台，包括模型模块和修正程序模块，所述模型模块包括建立光刻工艺单元单元、测试圆形和晶圆数据准备单元、建模工具单元和版图文件查看单元。该面对FAB的EDA软件集成平台，通过设置模型模块和修正程序模块，建立光刻工艺单元分别借助光刻掩膜联合优化工具和光刻工艺仿真工具，设计图形和晶圆数据准备单元分别借助测绘图形绘制工具、量测gauge整体和量测receipe准备工具和量测数据分析和处理工具；测绘图形绘制工具定制开发具有灵活人机界面的绘图工具，能够导入多种基台的两侧数据，高速生成三维图，能够快速的发现当前工艺的薄弱点，为进一步提高良率作指导，具有三维高效、功能全面和灵活定制的特性。
主权项：1.面对FAB的EDA软件集成平台，包括模型模块和修正程序模块，其特征在于；所述模型模块包括建立光刻工艺单元单元、测试圆形和晶圆数据准备单元、建模工具单元和版图文件查看单元；所述修正程序模块包括设计规则检查单元、插入填充图形或进行逻辑操作单元、双重或多重形拆分单元、目标线宽调整基于规则的修正单元、插入基于规则的亚分辨率辅助图形单元、基于模型的修正单元，可用于对模型的建立过程进行修正和检查。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海芯无双仿真科技有限公司 面对FAB的EDA软件集成平台
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