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申请/专利权人：青岛嘉展力拓半导体有限责任公司
摘要：本实用新型公开了一种形貌检测仪用衬底片定位装置，属于衬底片技术领域。其技术方案为：包括定位块，定位块置于形貌检测仪滑轨平台上的上下料凹槽中；定位块上设置有辅助固定机构，定位块置于上下料凹槽中后，辅助固定机构将定位块固定住；定位块靠近被检测衬底片的一端为一平面且该端一侧设置有弧形挡条，被检测衬底片置于滑轨平台上的检测载台后，衬底片的直边和弧形边分别贴合定位块的平面端及弧形挡条。本实用新型的定位装置可以保证不同工作人员检测同一产品时，产品检测位置的一致性，防止同一产品由于检测位置的不同而导致检测结果不一致，影响产品检测结果。
主权项：1.形貌检测仪用衬底片定位装置，其特征在于，包括定位块1，定位块1置于形貌检测仪滑轨平台404上的上下料凹槽4042中；定位块1上设置有辅助固定机构，定位块1置于上下料凹槽4042中后，辅助固定机构将定位块1固定住；定位块1靠近被检测衬底片3的一端为一平面且该端一侧设置有弧形挡条2，被检测衬底片3置于滑轨平台404上的检测载台4041后，衬底片3的直边和弧形边分别贴合定位块1的平面端及弧形挡条2。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛嘉展力拓半导体有限责任公司 形貌检测仪用衬底片定位装置
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