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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种描画装置。第一移动机构22a在图案描画部4的下方在Y方向上水平移动第一载物台21a。第二移动机构22b在图案描画部4的下方在Y方向上水平移动第二载物台21b。第二移动机构22b在X方向上与第一移动机构22a并排配置。框架7支撑第一移动机构22a和第二移动机构22b。配重51在与基板移动方向交叉的X方向上可移动地安装于框架7。配重移动控制部基于Y方向上的第一载物台21a和第二载物台21b的位置控制配重移动机构52，使得配重51配置于抑制因第一载物台21a和第二载物台21b的重量导致的框架7的变形的位置。由此，能够高精度地进行对基板9的描画。
主权项：1.一种描画装置，对基板进行描画，其中，具备：图案描画部，对在下方水平移动的基板的上侧主面照射光来描画图案；第一基板保持部；第一移动机构，在所述图案描画部的下方在基板移动方向上水平移动所述第一基板保持部；第二基板保持部，与所述第一基板保持部相邻地配置；第二移动机构，在与所述基板移动方向交叉的方向上与所述第一移动机构并排配置，在所述图案描画部的下方在所述基板移动方向上水平移动所述第二基板保持部；框架，支撑所述第一移动机构和所述第二移动机构；配重，在与所述基板移动方向交叉的配重移动方向上可移动地安装于所述框架；配重移动机构，在所述配重移动方向上移动所述配重；以及配重移动控制部，基于所述基板移动方向上的所述第一基板保持部和所述第二基板保持部的位置控制所述配重移动机构，使得所述配重配置于抑制因所述第一基板保持部和所述第二基板保持部的重量导致的所述框架的变形的位置。
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