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申请/专利权人：广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院
摘要：本发明涉及一种g线、h线光吸收树脂及其制备方法，所述g线、h线光吸收树脂包括特定结构的丙烯酸类结构单元、丙烯酸酯类结构单元以及具有紫外光吸收的功能结构单元，所述丙烯酸类结构单元、由丙烯酸酯类结构单元组成光吸收树脂的骨架，配合功能结构单元，通过建立光吸光剂分子与光吸收树脂间的固定化学键连接，使树脂本身具有稳定的光吸收波段，对g线和h线波段的紫外光具有较高的吸光度，可解决面向Lift‑off工艺的光刻胶在配制过程中所添加的光吸收剂发生吸光波段偏移，导致光刻胶配方设计复杂化的问题。此外，上述g线、h线光吸收树脂在本身具有固定的光吸收功能的同时，还具有良好的碱溶性，进一步表明该光吸收树脂具有较大的应用潜力。
主权项：1.一种g线、h线光吸收树脂，其特征在于，其化学结构包括式I所示的结构单元、式II所示的结构单元、式III所示的结构单元、式IV所示的结构单元和式V所示的结构单元： 式I式II式III式IV式V；其中，R1、R3、R4、R6和R8分别独立地选自H或C1-3烷基；R2选自以下取代基中的一种： ；R5选自C1-6烷基、苯基或苄基；R7选自以下取代基中的一种： ；m、n、p、q和r表示在所述化学结构中的摩尔分数，满足如下条件：m、n、p、q和r的比例为1.5：（2~4）：（1.3~3.5）：3：（0.05~0.2）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广东粤港澳大湾区黄埔材料研究院 g线、h线光吸收树脂及其制备方法
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