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申请/专利权人：佛山市博顿光电科技有限公司;湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城)
摘要：本申请涉及一种基于Fabry‑Perot谐振腔的高光谱滤光片阵列及其制作方法，所述方法包括：通过薄膜沉积方式在N个硬质透明衬底上沉积透射峰值波长为λ1、λ2，…、λN的Fabry‑Perot谐振腔的多层膜系形成N个分立滤光片，λ为波长，N为波长的数量；根据滤光片阵列上的像素块大小对各个分立滤光片进行裁切得到微单元阵列；根据滤光片阵列上的数据点排列信息分别从分立滤光片中提取微单元，将所提取的微单元转移至透明基底上并按照透射峰值波长进行排列；将各个微单元拼装到透明基底上形成单片集成式的高光谱滤光片阵列；该技术方案，便于工业上大规模生产，降低高光谱滤光片阵列的制造难度和成本。
主权项：1.一种基于Fabry-Perot谐振腔的高光谱滤光片阵列的制作方法，其特征在于，包括：通过薄膜沉积方式在N个硬质透明衬底上沉积透射峰值波长为λ1、λ2，…、λN的Fabry-Perot谐振腔的多层膜系形成N个分立滤光片；其中，λ为波长，N为波长的数量，N≥2；根据滤光片阵列上的像素块大小对各个分立滤光片进行裁切得到微单元阵列；根据滤光片阵列上的数据点排列信息分别从所述分立滤光片中提取微单元，将所提取的微单元转移至透明基底上并按照透射峰值波长进行排列；将各个微单元拼装到透明基底上形成单片集成式的高光谱滤光片阵列。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佛山市博顿光电科技有限公司 湖大粤港澳大湾区创新研究院(广州增城) 基于Fabry-Perot谐振腔的高光谱滤光片阵列及其制作方法
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