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一种衬底触发型的ESD保护电路 

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申请/专利权人:杭州芯正微电子有限公司

摘要:本申请公开了一种衬底触发型的ESD保护电路,该电路触发电压低,只需要一个PN结正偏的电压就能触发,由于使用了Nwell作为寄生三极管的发射极和集电极,所以ESD器件有更大的静电释放体积,相同静电释放等级下,版图面积比传统的ESD保护电路面积小,用于解决回滞电源钳位电路触发电压高,先进工艺下结深浅的问题。该电路包括:第一NMOS管,漏端接地,栅端接反相器的输入端、电阻的一端和第一电容的一端,源端接第二NMOS管的源端和一个或多个ESD器件相连,第一电容的接地,电阻的另一端接电源;第二NMOS管,漏端接电源,栅端接第二电容的一端和反相器的输出端,第二电容的另一端接电源。

主权项:1.一种衬底触发型的ESD保护电路,其特征在于,该电路包括检测单元和泄放单元,所述检测单元包括两个NMOS管,其中:第一NMOS管(2)被配置为:漏端接电源(1),栅端接反相器(5)的输入端、电阻(6)的一端和第一电容(7)的一端,源端与第二NMOS管(3)的源端彼此连接、并连接至泄放单元;所述第一电容(7)的另一端接地(15),所述电阻(6)的另一端接电源(1);第二NMOS管(3)被配置为:漏端接电源(1),栅端接第二电容(4)的一端和反相器(5)的输出端,所述第二电容(4)的另一端接电源(1);所述泄放单元包括一个或多个ESD器件,ESD器件(14)包括P型衬底和外延层,外延层由纵向交替的Pwell区和Nwell区构成,Pwell区上设置P+注入区、Nwell区上设置N+注入区,两个相邻注入区之间为浅沟槽隔离区或栅极多晶区;每一个ESD器件(14)中都包括一个与第一NMOS管(2)、第二NMOS管(3)的源端相连接的P+注入区,与该P+注入区相邻的一个N+注入区接电源(1),其余P+注入区、N+注入区及栅极多晶区接地(15)。

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