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申请/专利权人：芯知微(上海)电子科技有限公司
摘要：本发明提供一种薄膜压电声波谐振器及其制造方法，其中压电声波谐振器包括：压电感应振荡片体，所述压电感应振荡片体包含相对的第一表面和第二表面；置于所述压电感应振荡片体第一表面上的第一组叉指式换能器和第二组叉指式换能器，所述第一组叉指式换能器至少包括一个第一导电叉指，所述第二组叉指式换能器至少包括一个第二导电叉指；第一间隙，位于所述压电感应振荡片体第一表面与所述第一导电叉指之间和或，第二间隙，位于所述压电感应振荡片体第一表面与所述第二导电叉指之间。解决压电感应振荡片体和第一导电叉指、第二导电叉指接触的界面存在残余应力的问题，同时也可以解决压电声波能量传至导电叉指上的损耗。
主权项：1.一种薄膜压电声波谐振器，其特征在于，包括：压电感应振荡片体，所述压电感应振荡片体包含相对的第一表面和第二表面；置于所述压电感应振荡片体第一表面上的第一组叉指式换能器和第二组叉指式换能器，所述第一组叉指式换能器至少包括一个第一导电叉指，所述第二组叉指式换能器至少包括一个第二导电叉指；第一间隙，位于所述压电感应振荡片体第一表面与所述第一导电叉指之间；第二间隙，位于所述压电感应振荡片体第一表面与所述第二导电叉指之间；每个所述第一导电叉指与所述压电感应振荡片体第一表面之间均设有所述第一间隙和或，每个所述第二导电叉指与所述压电感应振荡片体第一表面之间均设有所述第二间隙；相邻的所述第一间隙和所述第二间隙相互连通；所述压电感应振荡片体和所述第一导电叉指之间设有第一柱体，所述第一柱体位于所述第一间隙中和或，所述压电感应振荡片体和所述第二导电叉指之间设有第二柱体，所述第二柱体位于所述第二间隙中。
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