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申请/专利权人：苏州西丽卡电子材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种高纯正硅酸甲酯的在线取样装置，包括：样品获取机构，其安装在出料管路上，用于获取高纯正硅酸甲酯样品，包括取样管路及控制所述取样管路开闭的阀门组件；样品存储机构，其连接至所述取样管路，用于存储高纯正硅酸甲酯样品；置换机构，其连接至所述样品存储机构，用于检测所述样品存储机构的气密性并对所述样品存储机构进行洁净空气的置换。本实用新型提供的高纯正硅酸甲酯的在线取样装置，可洁净高效的获取样品，提高生产效率。
主权项：1.一种高纯正硅酸甲酯的在线取样装置，其特征在于，包括：样品获取机构，其安装在出料管路上，用于获取高纯正硅酸甲酯样品，包括取样管路及控制所述取样管路开闭的阀门组件；样品存储机构，其连接至所述取样管路，用于存储高纯正硅酸甲酯样品；置换机构，其连接至所述样品存储机构，用于检测所述样品存储机构的气密性并对所述样品存储机构进行洁净气体的置换。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州西丽卡电子材料有限公司 一种高纯正硅酸甲酯的在线取样装置
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