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拍摄装置、图像测定装置、非接触位移检测装置及非接触形状测定装置 

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申请/专利权人:株式会社三丰

摘要:一种图像测定装置1兼做非接触形状测定装置使用。作为拍摄装置,具有:图像传感器14;可变焦距透镜液体透镜单元13,其配置于从工件9到图像传感器14的光轴Ai上;控制装置拍摄用透镜控制部30、图像测定处理部51,其控制可变焦距透镜,并且处理图像传感器14的检测图像。并且,作为非接触位移检测装置,具有:图像传感器24;可变焦距透镜液体透镜单元23,其配置于从工件9到图像传感器24的光轴Ad上;控制装置位移检测用透镜控制部40、形状测定处理部53,其控制可变焦距透镜,并且处理图像传感器24的检测图像。

主权项:1.一种图像测定装置,其特征在于,具有:第一图像传感器,其检测工件的图像;第一可变焦距透镜,其配置于从所述工件到所述第一图像传感器的光路上;第一控制装置,其控制所述第一可变焦距透镜,并且处理所述第一图像传感器的检测图像;第二图像传感器,其检测所述工件的图像;第二可变焦距透镜,其配置于从所述工件到所述第二图像传感器的光路上;第二控制装置,其控制所述第二可变焦距透镜,并且根据所述第二图像传感器的检测图像检测所述工件的表面位置;载台,其载置所述工件;以及显示装置,其显示由所述第一控制装置处理的所述检测图像,所述第二图像传感器以及所述第二可变焦距透镜分别使用与所述第一图像传感器以及所述第一可变焦距透镜相同的部件。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社三丰 拍摄装置、图像测定装置、非接触位移检测装置及非接触形状测定装置

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