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申请/专利权人：浙江大学;重庆诺奖二维材料研究院有限公司
摘要：本发明公开了一种基于微波等离子体化学气相沉积MPCVD法制备碳纳米管的方法。利用MPCVD法制备得到碳纳米管，其主要以甲烷为碳源，以氢气作为主要的载气，通过等离子体与气态碳源的相互作用下，将甲烷分子分解，使得碳原子在衬底上有序沉积，从而形成碳纳米管。相比传统的电弧放电法以及离子轰击法等制备碳纳米管而言，本发明的一种基于MPCVD法制备碳纳米管具有制备过程温度较低、结晶质量高、参数易调控以及形成的碳纳米管杂质少等特点，且在生长过程中无需使用特定的金属衬底作为催化剂，可以有效实现碳纳米管的重复制备和高纯度碳纳米管的工业化应用等。本发明制备得到的高结晶度、高纯度的碳纳米管可以作为纳米电子学、储能材料、生物医学以及复合材料领域的应用基础。
主权项：1.一种基于MPCVD法制备碳纳米管的方法，其特征在于，包括以下步骤：1以高纯甲烷作为碳源气体，以高纯氢气作为载气，在生长过程中混合均匀并通入CVD反应釜中；所述高纯为纯度不低于99.9999％；2以2英寸的纯度不低于99.99％的钼盘作为衬底，用于碳纳米管在钼盘表面沉积生长；3调节MPCVD设备微波功率、气体流量、反应温度及反应压强控制碳纳米管的生长速率以及整体形状。
全文数据：
权利要求：
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