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申请/专利权人：盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司
摘要：本发明提供了一种石英盖板拆装工装及拆装方法，其应用于等离子掺氮工艺腔体顶部的上盖组件的拆装，其中石英盖板拆装工装包括支撑座、导向环和把手组件，支撑座用于支撑铝环座，导向环设有承载板和沿承载板轴向延伸的导向柱，导向柱对中设置于中心通孔内，并且承载板抵接于石英盖板下方；把手组件包括固定座、与固定座连接的把杆、紧固件和连接件，固定座设于把杆的两端之间，紧固件设置于固定座上，固定座位于导向柱上方，连接件穿过导向柱与紧固件螺纹连接。本发明通过石英盖板拆装工装提高了石英盖板的安装以及拆卸效率，提高了工艺腔体的漏率通过率，同时，还能够防止石英盖板碎裂造成的生产成本增加。
主权项：1.一种石英盖板拆装工装，其特征在于，其应用于等离子掺氮工艺腔体顶部的上盖组件的拆装，所述上盖组件包括铝环座和可拆卸地安装于所述铝环座内环的石英盖板，所述石英盖板的中心位置设有中心通孔；所述石英盖板拆装工装包括支撑座、导向环和把手组件，所述支撑座用于支撑所述铝环座，所述导向环设有承载板和沿所述承载板轴向延伸的导向柱，所述导向柱对中设置于所述中心通孔内，并且所述承载板抵接于所述石英盖板下方；所述把手组件包括固定座、与所述固定座连接的把杆、紧固件和连接件，所述固定座设于所述把杆的两端之间，所述紧固件设置于所述固定座上，所述固定座位于所述导向柱上方，所述连接件穿过所述导向柱与所述紧固件螺纹连接。
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权利要求：
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