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基于中空芯部光子晶体光纤的宽带辐射生成器 

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申请/专利权人:ASML荷兰有限公司

摘要:一种用于包括中空芯部光子晶体光纤HC‑PCF的辐射源的源控制装置,所述HC‑PCF具有具备芯部直径的中空芯部,所述源控制装置包括:至少一个处理器;和脉冲啁啾装置,所述脉冲啁啾装置被配置成接收脉冲泵浦辐射并且以可控的方式啁啾所述脉冲泵浦辐射以便输出经啁啾的脉冲泵浦辐射以用于在一压力的情况下激发被包括在所述光纤的所述中空芯部内的工作介质。所述至少一个处理器能够操作以配置所述辐射源的源参数,所述源参数包括所述压力和脉冲啁啾参数中的一个或两者,使得所述经啁啾的脉冲泵浦辐射在所述HC‑PCF内经历光谱加宽过程,由此产生具有与所述HC‑PCF的参考芯部直径有关的预定光谱的输出辐射,以便补偿所述芯部直径相对于所述参考芯部直径的变化。

主权项:1.一种用于包括中空芯部光子晶体光纤HC-PCF的辐射源的源控制装置,所述HC-PCF包括具有芯部直径的中空芯部,所述源控制装置包括:至少一个处理器;和脉冲啁啾装置,所述脉冲啁啾装置被配置成以可控的方式啁啾脉冲泵浦辐射以便输出经啁啾的脉冲泵浦辐射,以用于在一压力下激发被包括在所述光纤的所述中空芯部内的工作介质;其中所述处理器能够操作以配置所述辐射源的源参数,所述源参数包括所述压力和脉冲啁啾参数中的一个或两者,使得所述经啁啾的脉冲泵浦辐射在所述HC-PCF内经历光谱加宽过程,由此产生具有与所述HC-PCF的参考芯部直径有关的预定光谱的输出辐射,以便补偿所述芯部直径相对于所述参考芯部直径的变化。

全文数据:

权利要求:

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